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发明名称 VAPOR PHASE GROWTH METHOD OF SOS FILM
摘要
申请公布号 JPS53108766(A) 申请公布日期 1978.09.21
申请号 JP19770023322 申请日期 1977.03.05
申请人 KOGYO GIJUTSUIN 发明人 ONGA SHINJI;YASUDA YUKIO
分类号 C30B25/02;C30B29/06;H01L21/205;H01L21/86;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
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