发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS53108287(A) 申请公布日期 1978.09.20
申请号 JP19770022157 申请日期 1977.03.03
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SUGIURA YOSHIHIDE;SATOU SHIYOUJI
分类号 H01L21/027;H01L21/68 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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