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摘要 PURPOSE:To correct the defects on metallic film larger than the spot diameter of laser light with high speed and good accuracy, by feeding the feed of laser light with the scanning unit consisting of two prisms.
申请公布号 JPS5334460(B2) 申请公布日期 1978.09.20
申请号 JP19760026189 申请日期 1976.03.12
申请人 发明人
分类号 G03F1/00;G03F1/72;H01L21/027;H01L21/302;H01L21/48 主分类号 G03F1/00
代理机构 代理人
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