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发明名称 EVAPORATION SOURCE FOR VACUUM EVAPORATION
摘要
申请公布号 JPS53108044(A) 申请公布日期 1978.09.20
申请号 JP19770022246 申请日期 1977.03.03
申请人 HATTORI ISAO 发明人 HATSUTORI ISAO
分类号 C23C14/26 主分类号 C23C14/26
代理机构 代理人
主权项
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