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发明名称
摘要
申请公布号 JPS53118462(U) 申请公布日期 1978.09.20
申请号 JP19780022180U 申请日期 1978.02.22
申请人 发明人
分类号 C30B13/00;C30B13/20;C30B13/30;H01L21/208;(IPC1-7):B01J17/12 主分类号 C30B13/00
代理机构 代理人
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