发明名称 METHOD OF PRODUCING SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPS53107287(A) 申请公布日期 1978.09.19
申请号 JP19780020383 申请日期 1978.02.22
申请人 RCA CORP 发明人 ARUFURETSUDO CHIYAARUZU AIPURI
分类号 H01L29/78;H01L21/3213;H01L21/3215;H01L21/336;H01L27/12;H01L29/786 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
地址