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发明名称 GAS TREATMENT METHOD OF SEMICONDUCTOR WAFERS
摘要
申请公布号 JPS53106573(A) 申请公布日期 1978.09.16
申请号 JP19770021252 申请日期 1977.02.28
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 YAMAGISHI SOUKICHI;YADOIWA YOSHIAKI
分类号 H01L21/31;H01L21/324 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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