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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS53105971(A) 申请公布日期 1978.09.14
申请号 JP19770020300 申请日期 1977.02.28
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 YAMAMOTO YOSHIO;HATSUTORI TSUKASA;OOE KUNIYOSHI;MINAMIYAMA TAKAYUKI;USUDA OSAMU
分类号 H01L21/52;H01L21/58;H01L23/12 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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