| 发明名称 |
MANUFACTURE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS53104156(A) |
申请公布日期 |
1978.09.11 |
| 申请号 |
JP19770018192 |
申请日期 |
1977.02.23 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
MIYAO MASANOBU;SUEHIRO NAOJI;TOKUYAMA KON |
| 分类号 |
H01L21/76;H01L21/265;H01L21/316;H01L21/322;H01L21/329;H01L21/331;H01L29/70;H01L29/73 |
主分类号 |
H01L21/76 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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