发明名称 METHOD OF CUTTING HARD AND FRAGILE MATERIAL
摘要
申请公布号 JPS53103287(A) 申请公布日期 1978.09.08
申请号 JP19770017935 申请日期 1977.02.21
申请人 DAIICHI SEITOSHIYO KK 发明人 SEKIYA SHINJI;HOSHI MASASHI
分类号 B28D1/22;B26D1/14;B26D7/08;H01L21/301;H01L21/302 主分类号 B28D1/22
代理机构 代理人
主权项
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