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发明名称
ION BEAM RADIATING UNIT
摘要
申请公布号
JPS53102677(A)
申请公布日期
1978.09.07
申请号
JP19770016276
申请日期
1977.02.18
申请人
HITACHI LTD
发明人
KASHIYUU NOBUYOSHI;MIYAKE KIYOSHI;YAGI KUNIHIRO;TAMURA MASAO
分类号
H01J37/317;B23K15/00;C23C14/48;H01J37/30;H01L21/265
主分类号
H01J37/317
代理机构
代理人
主权项
地址
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