发明名称 PREVENTING METHOD FOR LAMINATION FAULT
摘要
申请公布号 JPS53102676(A) 申请公布日期 1978.09.07
申请号 JP19770017914 申请日期 1977.02.21
申请人 SONY CORP 发明人 NIWANO CHIYUUICHI;SUZUKI TOSHIHIKO
分类号 H01L29/78;H01L21/316;H01L21/324;H01L21/326 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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