发明名称 THIN FILM TREATMENT APPARATUS
摘要
申请公布号 GB1524223(A) 申请公布日期 1978.09.06
申请号 GB19750041306 申请日期 1975.10.08
申请人 LUWA AG 发明人
分类号 B01D1/22;B01D3/08;(IPC1-7):B01D1/22 主分类号 B01D1/22
代理机构 代理人
主权项
地址