| 发明名称 |
DEVICE FOR CONTACTLESS MEASURING OF CONDUCTIVE FILM RESISTANCE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SU575934(A1) |
申请公布日期 |
1978.09.05 |
| 申请号 |
SU19752185020 |
申请日期 |
1975.10.27 |
| 申请人 |
FIZ ENERGET I AN LATVSSR |
发明人 |
GRIGULIS YU.K.,SU;GAVRILIN V.V.,SU |
| 分类号 |
H01L21/66;G01R31/26;G01R31/303;(IPC1-7):G01R31/26 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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