| 发明名称 |
PICKINGGUP METHOD OF SEMICONDUCTOR CHIPS |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS53101982(A) |
申请公布日期 |
1978.09.05 |
| 申请号 |
JP19770016145 |
申请日期 |
1977.02.18 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
NAGASHIMA MASAYASU;SAITOU TATSUO;IIZUKA KOUJI |
| 分类号 |
H01L21/677;H01L21/302;H01L21/67;H01L21/68 |
主分类号 |
H01L21/677 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
