发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS53100776(A) 申请公布日期 1978.09.02
申请号 JP19770015701 申请日期 1977.02.15
申请人 NIPPON ELECTRIC CO;NIPPON TELEGRAPH & TELEPHONE 发明人 NISHIMURA YOSHIHARU;SAKAI TETSUSHI;HARUHARA YOSHIO
分类号 H01L29/78;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/331;H01L21/78;H01L29/73 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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