发明名称 RING ZONE FIELDDOFFVIEW OPTICAL SYSTEM
摘要
申请公布号 JPS53100230(A) 申请公布日期 1978.09.01
申请号 JP19780014851 申请日期 1978.02.10
申请人 PERKIN ELMER CORP 发明人 ABE OFUNAA
分类号 H01L21/30;G02B17/00;G02B17/08;G03F7/20;H01L21/027 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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