发明名称 |
TREATMENT AGENT FOR HARDENING RESIST PATTERN |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS53100140(A) |
申请公布日期 |
1978.09.01 |
申请号 |
JP19770014124 |
申请日期 |
1977.02.14 |
申请人 |
TOKYO OUKA KOUGIYOU KK |
发明人 |
MIYAZAWA SHIYOUZOU;NAKAYAMA MUNEO;NAKANE HISASHI |
分类号 |
C08K3/00;C08K3/24;C08K5/00;C08K5/09;C08L33/00;C08L33/02;C23F1/00;G03F7/00;G03F7/40 |
主分类号 |
C08K3/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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