发明名称 TREATMENT AGENT FOR HARDENING RESIST PATTERN
摘要
申请公布号 JPS53100140(A) 申请公布日期 1978.09.01
申请号 JP19770014124 申请日期 1977.02.14
申请人 TOKYO OUKA KOUGIYOU KK 发明人 MIYAZAWA SHIYOUZOU;NAKAYAMA MUNEO;NAKANE HISASHI
分类号 C08K3/00;C08K3/24;C08K5/00;C08K5/09;C08L33/00;C08L33/02;C23F1/00;G03F7/00;G03F7/40 主分类号 C08K3/00
代理机构 代理人
主权项
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