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发明名称
摘要
申请公布号	FR2348740(B1)	申请公布日期	1978.09.01
申请号	FR19760012128	申请日期	1976.04.23
申请人	GRIBOV BG	发明人
分类号	C30B31/02;(IPC1-7):B01J17/34;H01L21/22	主分类号	C30B31/02
代理机构		代理人
主权项
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