MANUFACTURE FOR SILICON OXIDE FILM,申请号JP19770012963-传众专利搜索

发明名称	MANUFACTURE FOR SILICON OXIDE FILM
摘要
申请公布号	JPS5398779(A)	申请公布日期	1978.08.29
申请号	JP19770012963	申请日期	1977.02.10
申请人	NIPPON TELEGRAPH & TELEPHONE	发明人	EBARA KOUHEI;OOWADA KUNIKI;DOUKEN MASANOBU
分类号	H01L21/316;H01L21/283;H01L29/78	主分类号	H01L21/316
代理机构		代理人
主权项
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