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发明名称
摘要
申请公布号 JPS53106665(U) 申请公布日期 1978.08.26
申请号 JP19770011388U 申请日期 1977.02.01
申请人 发明人
分类号 C30B19/06;H01L21/208;(IPC1-7):H01L21/208;B01J17/20 主分类号 C30B19/06
代理机构 代理人
主权项
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