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发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5397791(A) 申请公布日期 1978.08.26
申请号 JP19770012762 申请日期 1977.02.07
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 AOMURA KUNIO;HAMANO KUNIYUKI
分类号 H01L21/3205;H01L21/265 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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