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发明名称
SHICKNESS MEASUREMENT SYSTEM OF CHANNEL OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPS5397778(A)
申请公布日期
1978.08.26
申请号
JP19770012153
申请日期
1977.02.08
申请人
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO
发明人
YAMADA TETSUO;SUZUKI NOBUO
分类号
H01L21/66
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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