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发明名称 XXRAY RING MASK
摘要
申请公布号 JPS5397371(A) 申请公布日期 1978.08.25
申请号 JP19770011238 申请日期 1977.02.05
申请人 NIPPON CHEMICAL IND 发明人 KAMEYAMA MASAOMI
分类号 H01L21/027;H01L21/302 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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