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发明名称
摘要
申请公布号
FR2344124(B1)
申请公布日期
1978.08.25
申请号
FR19760008561
申请日期
1976.03.12
申请人
IBM
发明人
分类号
H01L21/304;H01L21/322;(IPC1-7):H01L21/30;H01L21/46
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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