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发明名称 METHOD OF PRODUCING SEMICONDUCTOR STRUCTURES
摘要
申请公布号 SU588851(A1) 申请公布日期 1978.08.25
申请号 SU19762351166 申请日期 1976.04.26
申请人 FIZIKO-TEKHNICHESKIJ I IM.A.F.IOFFE AN SSSR 发明人 GEVORKYAN V.A.,SU;GOLUBEV L.V.,SU;KARYAEV V.N.,SU;SHMARTSEV YU.V.,SU
分类号 H01L21/368;(IPC1-7):H01L21/36 主分类号 H01L21/368
代理机构 代理人
主权项
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