发明名称 GENERATING METHOD AND APPARATUS FOR ELECTRON BEAM LINEAR SCANNING SIGNAL
摘要
申请公布号 JPS5396764(A) 申请公布日期 1978.08.24
申请号 JP19770011452 申请日期 1977.02.04
申请人 NIPPON TELEGRAPH & TELEPHONE 发明人 SHIBAYAMA AKINORI;IWATA ATSUSHI
分类号 H01L21/027;H01L21/26 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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