发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5396671(A) 申请公布日期 1978.08.24
申请号 JP19770010264 申请日期 1977.02.03
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 KATOU TOMOYASU;ASAO TAKESHI
分类号 H01L29/80;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/338;H01L29/76;H01L29/812 主分类号 H01L29/80
代理机构 代理人
主权项
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