| 发明名称 |
WAFER HOLDER AND METHOD OF PRODUCING SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5396762(A) |
申请公布日期 |
1978.08.24 |
| 申请号 |
JP19770010833 |
申请日期 |
1977.02.04 |
| 申请人 |
TOSHIBA CERAMICS CO |
发明人 |
KONUMA KOUJI;HOSHINA TAKEMI |
| 分类号 |
B25J15/06;B25B11/00;B65G49/07;B65H3/08;B66C1/00;B66C1/02;H01L21/67;H01L21/677;H01L21/68 |
主分类号 |
B25J15/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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