| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR ELECTRON BEAM ALIGNMENT WITH A MEMBER BY DETECTING X-RAYS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB1522372(A) |
申请公布日期 |
1978.08.23 |
| 申请号 |
GB19750032300 |
申请日期 |
1975.08.01 |
| 申请人 |
WESTINGHOUSE ELECTRIC CORP |
发明人 |
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| 分类号 |
H01J35/00;H01J37/304;(IPC1-7):G01T1/29 |
主分类号 |
H01J35/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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