| 发明名称 |
HIGH RESOLUTION ELECTRON BEAM MICROFABRICATION PROCESS FOR FABRICATING SMALL GEOMETRY SEMICONDUCTOR DEVICES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US4109029(A) |
申请公布日期 |
1978.08.22 |
| 申请号 |
US19770761934 |
申请日期 |
1977.01.24 |
| 申请人 |
HUGHES AIRCRAFT COMPANY |
发明人 |
OZDEMIR, FAIK S.;LOPER, DALL D. |
| 分类号 |
H01L29/812;H01J37/304;H01L21/027;H01L21/338;H01L23/544;(IPC1-7):H01L29/48 |
主分类号 |
H01L29/812 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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