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发明名称
摘要
申请公布号 JPS5329585(B2) 申请公布日期 1978.08.22
申请号 JP19740141563 申请日期 1974.12.11
申请人 发明人
分类号 H01L21/762;H01L21/76 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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