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发明名称
摘要
申请公布号	JPS5329511(B2)	申请公布日期	1978.08.21
申请号	JP19740005970	申请日期	1974.01.11
申请人		发明人
分类号	H01L29/41;H01L21/331;H01L29/73	主分类号	H01L29/41
代理机构		代理人
主权项
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