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发明名称
摘要
申请公布号	JPS5329477(B2)	申请公布日期	1978.08.21
申请号	JP19730076293	申请日期	1973.07.05
申请人		发明人
分类号	G01L9/04;G01L7/00;G01L9/00;H01L23/02;H01L23/04;H01L29/84	主分类号	G01L9/04
代理机构		代理人
主权项
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