| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND ITS FABRICATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5394781(A) |
申请公布日期 |
1978.08.19 |
| 申请号 |
JP19770009064 |
申请日期 |
1977.01.29 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO |
发明人 |
KATOU MASAO;IKEDA TADASHI |
| 分类号 |
H01L23/52;H01L21/3205;H01L27/04 |
主分类号 |
H01L23/52 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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