| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS5394769(A) |
申请公布日期 |
1978.08.19 |
| 申请号 |
JP19770009018 |
申请日期 |
1977.01.29 |
| 申请人 |
NIPPON ELECTRIC CO |
发明人 |
MATSUSHIMA IWAO;TERAUJI KIKUO;TARUI MASASHI;NISHIMURA SUSUMU |
| 分类号 |
H01L21/56;H01L23/12;H01L23/28 |
主分类号 |
H01L21/56 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
