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发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5394182(A) 申请公布日期 1978.08.17
申请号 JP19770007701 申请日期 1977.01.28
申请人 HITACHI LTD 发明人 ITOU MITSUO;YOSHINAGA KENJI
分类号 H01L21/306;H01L21/316 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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