| 发明名称 |
VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM QUANTITATIVEN BESTIMMEN VON UNREGELMAESSIGKEITEN IN EINEM GEOMETRISCHEN TESTBILD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE2750832(A1) |
申请公布日期 |
1978.08.17 |
| 申请号 |
DE19772750832 |
申请日期 |
1977.11.14 |
| 申请人 |
ZYGO CORP. |
发明人 |
L. GECEWICZ,RONALD;C. HUNTER,GEORGE |
| 分类号 |
G01B11/24;G01B11/02;(IPC1-7):G01CX/;G01B9/02;G06K9/08 |
主分类号 |
G01B11/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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