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发明名称
摘要
申请公布号 DE2118213(C3) 申请公布日期 1978.08.17
申请号 DE19712118213 申请日期 1971.04.15
申请人 DEUTSCHE ITT INDUSTRIES GMBH, 7800 FREIBURG 发明人 SCHILLING, HARALD, 7800 FREIBURG
分类号 G05F3/22;H01L27/082;(IPC1-7):H01L27/04 主分类号 G05F3/22
代理机构 代理人
主权项
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