| 发明名称 |
DEVICE FOR POSITIONING WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5392667(A) |
申请公布日期 |
1978.08.14 |
| 申请号 |
JP19770006975 |
申请日期 |
1977.01.25 |
| 申请人 |
TOKYO SEIMITSU CO LTD |
发明人 |
NAGATA KANETOSHI;WATANABE TOSHIO;FUJIMURA KINYA |
| 分类号 |
B65G47/14;B65G47/22;H01L21/68 |
主分类号 |
B65G47/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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