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发明名称 EXPOSURE METHOD
摘要
申请公布号 JPS5390766(A) 申请公布日期 1978.08.09
申请号 JP19770004431 申请日期 1977.01.20
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 JINNO KIYOKATSU;MIYAMURA MASATAKA
分类号 H01L21/302;H01L21/027;H01L21/26;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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