发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS PRODUCTION
摘要
申请公布号 JPS5390777(A) 申请公布日期 1978.08.09
申请号 JP19770005121 申请日期 1977.01.20
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 HIGASHINAKAGAHA IWAO;SHIMA SHIYOUHEI
分类号 H01L23/52;H01B1/00;H01B1/02;H01L21/28;H01L21/3205;H01L29/43 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
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