| 发明名称 |
MEASURING SURFACE STATES IN SEMICONDUCTOR STRUCTURES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB1520961(A) |
申请公布日期 |
1978.08.09 |
| 申请号 |
GB19760010950 |
申请日期 |
1976.03.18 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPOR. |
发明人 |
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| 分类号 |
G01R29/24;G01R31/26;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):G01R29/00 |
主分类号 |
G01R29/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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