发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5389684(A) 申请公布日期 1978.08.07
申请号 JP19770004711 申请日期 1977.01.18
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 ISHIKAWA YUUICHI
分类号 H01L29/78;H01L21/28;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
地址