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发明名称
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPS5389684(A)
申请公布日期
1978.08.07
申请号
JP19770004711
申请日期
1977.01.18
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
ISHIKAWA YUUICHI
分类号
H01L29/78;H01L21/28;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065
主分类号
H01L29/78
代理机构
代理人
主权项
地址
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