发明名称 |
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS5389375(A) |
申请公布日期 |
1978.08.05 |
申请号 |
JP19770003770 |
申请日期 |
1977.01.17 |
申请人 |
NIPPON ELECTRIC CO |
发明人 |
NAKAMURA KUNIO;FUJIMOTO YOSHIHARU |
分类号 |
H01L29/78;H01L21/265;H01L21/316;H01L29/06 |
主分类号 |
H01L29/78 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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