发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5389375(A) 申请公布日期 1978.08.05
申请号 JP19770003770 申请日期 1977.01.17
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 NAKAMURA KUNIO;FUJIMOTO YOSHIHARU
分类号 H01L29/78;H01L21/265;H01L21/316;H01L29/06 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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