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发明名称 HETEROGENEOUS ADMIXTURE GLASS FOR THREE-DIMENSIONAL PHOTOLITHOGRAPHY
摘要
申请公布号 SU504434(A1) 申请公布日期 1978.08.05
申请号 SU19731926877 申请日期 1973.05.29
申请人 YANUSHONIS S.S.,SU;BELYAUSKAS B.V.,SU;SHERKUVENE V.K.,SU 发明人 YANUSHONIS S.S.,SU;BELYAUSKAS B.V.,SU;SHERKUVENE V.K.,SU
分类号 H01L21/64;(IPC1-7):H01L21/64 主分类号 H01L21/64
代理机构 代理人
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