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发明名称 HALBLEITERVORRICHTUNG
摘要
申请公布号 DE2804500(A1) 申请公布日期 1978.08.03
申请号 DE19782804500 申请日期 1978.02.02
申请人 ZAIDAN HOJIN HANDOTAI KENKYU SHINKOKAI 发明人 NISHIZAWA,JUN-ICHI
分类号 H01L21/762;H01L21/763;H01L27/02;H01L27/07;H01L29/739;(IPC1-7):H01L29/76;H01L27/04 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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