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发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5386588(A) 申请公布日期 1978.07.31
申请号 JP19770001187 申请日期 1977.01.11
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 OGATA AKINORI;MURAMATSU HISANORI
分类号 H01L21/52;H01L23/12;H01L29/74 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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