发明名称 URZADZENIE DO PROWADZENIA PROCESOW EPITAKSJI WIELOWARSTWOWEJ Z FAZY CIEKLEJ ZWIAZKOW A GORA 3 B GORA 5
摘要
申请公布号 PL99401(B1) 申请公布日期 1978.07.31
申请号 PL19760193351 申请日期 1976.10.29
申请人 发明人
分类号 H01L21/36;(IPC1-7):H01L21/36 主分类号 H01L21/36
代理机构 代理人
主权项
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