发明名称 DIFFUSION METHOD OF COMPOUND SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPS5386159(A) 申请公布日期 1978.07.29
申请号 JP19770000681 申请日期 1977.01.06
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 HAYAKAWA YOSHIYUKI;KOSHIMURA TSUTOMU
分类号 C30B31/06;H01L21/22 主分类号 C30B31/06
代理机构 代理人
主权项
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